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基于TRIZ的高纯电子级溴化氢深度脱水创新方法

2021-09-16

 

摘 要:溴化氢与同族的氯化氢相比,具有更强的吸湿性,能够快速结合成水合物,进而导致溴化氢对纯化装置的腐蚀。目前国内对极易吸湿气体中痕量水深度脱除方法研究相对有限,限制了高纯溴化氢在集成电路制造、医药领域的高端应用。基于TRIZ方法,通过功能分析、冲突和物场分析,运用冲突矩阵、分离原理、76个标准解、效应、进化、剪裁等工具,提出了一系列的创新方法。对吸附剂进行科学改性、简化了工艺系统,既克服了酸性气体的腐蚀性,又保持了吸附脱水性能,可以为易吸湿与腐蚀性气体的分离产业化提供借鉴。